紅外線顯微鏡

EM 系列是安新針對電器與電子元件檢測所開發的紅外線顯微鏡 (專利第 M609641 號),整合高性能的紅外線相機,亦稱紅外光顯微鏡或熱輻射顯微鏡,能檢測半導體元件或顯示面板,精準的找出問題發生處,為失效分析 Failure Analysis 的強大工具。

靈敏的溫度解析度

EM 系列透過搭配室溫型或 InSb 製冷型相機,熱靈敏度達 20 mK,以獲得低雜訊的影像。

優異的光學解析度

EM 系列所使用的相機解析度最低 640 x 480,整合精密運動平台自動拼圖,解析度達到 9600 x 7680。

超高的時間解析度

在解析度 640 x 512 時,FPS 可達 1000 張;使用格放模式,FPS 更高達 30,000 張。

精確的訊號分析

EM 系列搭配強大的影像處理,能提供別於傳統紅外線影像,達到準確的量測結果。

交換式鏡頭設計

放大倍率最高至 8X (1.25um/pixel) 靈活搭配,不會影響待測物的高頻阻抗與其散熱,因此可精密的檢測出缺陷並精準的定位。

漏電流偵測

為偵測樣品異常產生的熱輻射,EM 系列搭配高靈敏相機,避免量測誤差且能同時記錄多個量測點,適用於非接觸式量測大面積或複雜的表面溫度。

金相顯微鏡及安新 EM-7K

Mini LED 面板瑕疵檢測

因現今電路設計於更低的電壓與更小的耗電下操作,所造成的瑕疵偵測更為不易,相同的現象也在發生於面板。由於 Mini LED 或 Micro LED 的晶片更小,傳統設備難以檢測,且僅用紅外線影像,無法確認瑕疵位置;但經 EM 系列影像處理分析後,清楚呈現問題處。