熱輻射顯微鏡

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EM 系列是安新針對電器與電子元件檢測所開發的熱輻射顯微鏡 (專利第 M609641 號),整合高性能的紅外線相機,能檢測半導體元件或顯示面板,精準的找出問題發生處,為失效分析 Failure Analysis 的強大工具。


產品特點
◢ 靈敏的溫度解析度
為偵測樣品異常產生的熱輻射,EM 系列透過搭配室溫型或 InSb 製冷型相機,熱靈敏度達 20 mK*,以獲得低雜訊的影像。透過光學量測,達到避免量測誤差且能同時記錄多個量測點,適用於非接觸式量測大面積或複雜的表面溫度。

左圖為 IC 在金相顯微鏡 (左) 與 EM-7000 的量測結果 (右) 比較,綠框為漏電流發生處。
◢ 優異的光學解析度
EM 系列所使用的相機解析度最低 640 x 480 或更高*,提供清晰的結果;交換式鏡頭設計,放大倍率最高至 8X (1.25um/pixel) 靈活搭配,不會影響待測物的高頻阻抗與其散熱,因此可精密的檢測出缺陷並精準的定位。

左圖為 IC 在不同放大倍率鏡頭下的量測結果與各不同倍率的鏡頭。
整合精密運動平台*,搭配軟體自動拼圖為更視野且高解析度的溫度分布影像,解析度最高為 9600 x 7680;量測範圍達到整張電路板並支援分析。

左圖為電路板的量測結果,解析度為 5400 x 4050。中間放大處為 640 x 512。
◢ 超高的時間解析度
在解析度 640 x 512 時,每秒鐘最高擷取 1000 張的高速取樣*,若使用格放模式,更可高達每秒 30,000 張的能力,完整記錄瞬間的溫度變化,便於訊號處理與分析。

左圖為指紋辨識 IC 檢測結果,綠框為漏電流處。

*各解析度規格與功能會依型號會有所差異。
◢ 精確的訊號分析
因現今電路設計於更低的電壓與更小的耗電下操作,所造成的瑕疵偵測更為不易;相同的現象也在發生於面板,由於 Mini LED 或 Micro LED 的晶片更小,而難以傳統設備檢測。因此 EM 系列搭配強大的影像處理,能提供別於傳統紅外線影像,達到準確的量測結果。

左圖為 Mini LED 面板瑕疵檢測,單由紅外線影像 (左) 無法確認瑕疵位置;而經分析後結果 (右) 則如綠框所示與其放大,清楚呈現問題處。

產品應用

小至積體電路,大至電路板或顯示面板的檢測,包含:
〆 溫度分布
〆 熱點偵測
〆 短路缺陷
〆 阻抗異常
〆 漏電流偵測

若您不清楚樣品能否透過 EM 系列量測,歡迎聯絡我們